SOL500系列全自动线宽套刻量测设备


SOL500

SOL500系列全自动线宽套刻量测设备应用于前道IC制造产线,用于晶圆表面图像CD关键尺寸、Overlay套刻精度量测等。
  产品特征

高精度量测

高精度成像焦面控制

高产率

多种物料接口

友好的软件交互界面

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