SOI800系列全自动光学缺陷检测设备


SOI800

SOI800系列产品是全自动光学缺陷检测设备,对晶圆的表面图形进行扫描,自动识别其中的缺陷并且将找到的缺陷加以分类。SOI800系列产品可以极大程度地提高晶圆制造过程中的工艺控制能力。SOI800系列产品主要用于前道IC制造产线的ADI、AEI、API和OQC等工艺段。
  产品特征

丰富的成像照明系统

具备丰富的成像照明配置:物镜凸轮包含5个卡槽,可预装1X, 2X, 3.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X等倍率的物镜,可切换明、暗场照明,可调整照明光强、照明光源波长等。

无实体硅片处方编辑

支持Waferless无实体硅片处方编辑,EAP工厂远程自动化生产控制,iADC在线自动缺陷分类等功能。基于Windows平台开发的自动光学检测软件,操作便利,交互友好。

高产率、低成本

高效的全自动晶圆传输系统,大行程、高精度、高速扫描运动台,有效提升了检测产率;单位面积产率高;降低用户的使用成本。

智能检测

先进的Smart Detection自动检测软件,配备Die to Die、Die to Standard、Cell to Cell和Macro等多种检测算法,能够高效识别低对比度及复杂背景下的微小缺陷,保证有高检出率、高重复检出率和低误检率。可支持裸片检测,能够检出1μm的缺陷。

晶背和晶边缺陷检测

可配置晶背和晶边缺陷检测功能,分辨率分别为20μm、1μm,独立模块设计,有效提升了晶圆全表面的良率控制。

明、暗场同步扫描检测

独立自主开发的明场、暗场同步扫描检测,自动调焦,分辨率可达到1μm,显著提升了检测精度和检测效率。

支持多种物料接口

可支持8寸和12寸标准notch硅片,支持SMIF、Open Cassette、FOUP、和FOSB等多种物料接口。支持OHT天车对接,并配备安全光栅。
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